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半導體制造設備及相關軸承簡介

作者:喬峰來源:本站時間:2022-05-31 12:15:59

在上一篇文章《半導體制造和真空極端環境用軸承簡介》中,我們介紹了半導體制造設備軸承的基本介紹,本文為大家詳細介紹半導體制造設備用軸承,主要包括如下七處。

 
一、液晶屏轉接設備。如上圖所示,液晶屏轉接設備使用的軸承廣泛分布在液晶屏的上下兩端,其使用的主要為深溝球軸承,這類軸承采用馬氏體不銹鋼材質,并使用特殊PTFE涂層。

 
二、HD基板轉移設備。如上圖所示,HD基板轉移設備使用的軸承主要位于底部,其使用的主要為深溝球軸承,亦使用馬氏體不銹鋼材質,并采用特殊PTFE涂層以及特殊軸承滾珠。

 
三、半導體制造設備內的清潔設備。如上圖所示,清潔設備使用純樹脂為內外圈材質的深溝球軸承,滾珠一般采用陶瓷材質,保持架使用PTFE樹脂,并由保持架提供自潤滑。

 
四、搬運機器人。如上圖所示,搬運機器人使用馬氏體不銹鋼材質的深溝球軸承,其內軸承運行環境為真空,并使用真空環境用低顆粒潤滑脂提供潤滑。

 
五、LCD傳送機器人。如上圖所示,LCD傳送機器人使用的軸承與搬運機器人相同,亦使用真空環境用深溝球軸承及潤滑脂。

 
六、潛水泵。如上圖所示,潛水泵使用馬氏體不銹鋼材質的深溝球軸承,采用聚四氟乙烯樹脂保持架,并由保持架提供自潤滑,同時,潛水泵用深溝球軸承涂有特種聚四氟乙烯涂層。

 
七、渦輪分子泵磁力軸承主軸。如上圖所示,渦輪分子泵磁力軸承主軸使用馬氏體不銹鋼材質的深溝球軸承及角接觸球軸承,并使用鉛銅合金保持架,采用含鉛或二硫化鉬的潤滑脂提供潤滑。
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