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半導體制造和真空極端環境用軸承簡介

作者:喬峰來源:本站時間:2022-05-30 20:49:03

在如今,以半導體制造業為代表的先進行業的生產加工環境十分復雜,涉及多種因素,一是真空,許多半導體部件的加工都在真空環境中進行,這就對其中運行的軸承提出了前所未有考驗,二是清潔,真空環境生產的目的就是為了清潔,所以軸承傳統的潤滑方式就不再適合,三是腐蝕,半導體制造產生的雜質中,多有酸性特征,其腐蝕性對相關環節軸承亦有較高的要求。

 
但在半導體制造業中,軸承又是不可或缺的,因此這里使用的軸承就需要耐真空,更清潔,更耐用,以及更耐腐蝕。NTN開發了多種半導體制造業軸承專用材質,以及多種在超高真空環境、清潔環境及腐蝕環境中使用的潤滑劑,滿足了人們對半導體制造業中使用的軸承的期望。
 
這些材質和潤滑主要包括馬氏體不銹鋼、MoS2磷酸鹽涂層、特殊PTFE涂層、耐腐蝕涂層、陶瓷涂層等等,主要潤滑脂包括低顆粒潤滑脂、通用固體潤滑脂、食品級、高溫、抗放射性潤滑脂、導電潤滑脂(EP-2)、導電氟潤滑脂(EF-2)等等,正是這些新材料,支撐起了半導體制造業用軸承。
 
這些軸承按使用環境可分為三類,一是航空航天設備,真空設備用的通用真空環境用軸承,二是半導體制造設備,LCD面板制造設備用的清潔環境用軸承,三是金屬板蝕刻設備,顯影劑,清洗設備用的腐蝕環境用軸承,也有三種類型兼備的軸承,這些軸承為半導體工業的發展,提供了重要的支持。
 
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